| Resumen | Este proyecto se desarrolla en el campo de la ingeniería de precisión. Se va a trabajar con una plataforma de nanoposicionamiento que ha sido desarrollada en la Universidad. La parte móvil de esta plataforma es capaz de posicionarse en un amplio rango de trabajo de 50 mm x 50 mm en el plano XY, con una precisión submicrométrica. Durante el movimiento, la parte móvil es elevada gracias a tres cojinetes de aire. La aplicación para la que ha sido diseñada esta plataforma es la caracterización metrológica de superficies y para ello se ha integrado en su parte móvil un sensor confocal, que proporciona medidas en Z.
El objetivo del proyecto es medir patrones con la NanoPla y con otro instrumento de medida calibrado, con el objetivo de comparar estas mediciones y, así, conocer qué errores introduce la medición con la Nanopla. Además, se estudiará la posibilidad de corregir o minimizar estos errores cuando sea posible. El instrumento de medida calibrado que se utilizará es el microscopio InfiniteSL de Alicona. Este es un trabajo multidisciplinar y de carácter experimental.
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